進口EJA的原理簡單論述
EJA差壓/壓力變送器應用的世界的單晶硅諧振式傳感器。是世界一家采用了單晶硅諧振式傳感器的廠家。由于單晶硅諧振式傳感器具有優良的溫度影響特性、靜壓影響特性、單向過壓特性而獲得橫河電機的廣泛應用。單晶硅傳感器是在單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術（MEMS），分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀、大小一致的H形狀的諧振梁（H型狀諧振器有兩個振梁），且處于微型真空腔中，使其即不與充灌液接觸，又確保振動時不受空氣阻尼的影響。 硅諧振梁處于由磁鐵提供的磁場中，與變壓器、放大器等組成一正反饋回路，讓諧振梁在回路中產生振蕩。當單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時將產生形變，中心處受至壓縮力，邊緣處受到張力，因而兩個形狀振梁分別感受不同應變作用，其結果是中心諧振梁受壓縮力而頻減少，邊側諧振梁因受張力而頻率之差對應不同的壓力信號。這一技術都是由橫河電機、并由橫河電機應用在產品上的。
